Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур: лабораторный практикум по нанотехнологиям : учебное пособие / В. О. Вальднер, С. А. Григорьев, А. А. Евдокимов [и др.] ; Е. Д. Мишина, Н. Э. Шерстюк, А. А. Евдокимов, В. О. Вальднер, С. А. Григорьев ; под ред. А. С. Сигов. - 6-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2021. - 187 с. - (Учебник для высшей школы). - Библиогр. в кн. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712965. - ISBN 978-5-93208-545-5.

Зебрев Г. И.
Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Г. И. Зебрев ; Г. И. Зебрев. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 243 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 225-232. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712973. - ISBN 978-5-00101-830-8.

Агеев И. М.
Наноэлектроника: элементы, приборы, устройства : учебное пособие / И. М. Агеев, Г. Г. Шишкин ; И. М. Агеев, Г. Г. Шишкин. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 410 с. : ил., схем., граф. - Библиогр. в кн. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712968. - ISBN 978-5-00101-731-8.

Наноэлектроника: теория и практика : учебник / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева, А. Л. Данилюк, Е. А. Уткина ; В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева, А. Л. Данилюк, Е. А. Уткина. - 5-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 369 с. : ил., табл., схем. - (Учебник для высшей школы). - Библиогр.: с. 359 - 360. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712969. - ISBN 978-5-00101-732-5.

Щука А. А.
Наноэлектроника : учебное пособие / А. А. Щука ; А. А. Щука ; под ред. А. С. Сигов. - 5-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 345 с. - (Нанотехнологии). - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712967. - ISBN 978-5-00101-730-1.

Электроника и наноэлектроника: введение в направление : хрестоматия / сост. Е. Я. Букина ; сост. Р. Л. Горбунов ; сост. Н. А. Севостьянов ; сост. С. А. Харитонов ; Новосибирский государственный технический университет. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 200 с. : табл., ил. - Библиогр. в кн. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=573771. - ISBN 978-5-7782-3971-5.

Васильев В. Ю.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев ; В. Ю. Васильев ; Новосибирский государственный технический университет. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 107 с. : ил., табл. - Библиогр. в кн. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=575293. - ISBN 978-5-7782-3915-9.

Филиппов В. В.
Физические основы наноэлектроники : учебное пособие / В. В. Филиппов, А. Д. Пашун ; В. В. Филиппов, А. Д. Пашун. - Липецк : Липецкий государственный педагогический университет имени П.П. Семенова-Тян-Шанского, 2018. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 158. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=576862. - ISBN 978-5-88526-948-3.

Удовиченко С. Ю.
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие / С. Ю. Удовиченко ; С. Ю. Удовиченко ; Тюменский государственный университет. - Тюмень : Тюменский государственный университет, 2016. - 228 с. : ил. - Библиогр. в кн. - https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=574272. - ISBN 978-5-400-01349-2.